德国EPK膜厚仪

型号

1100

2100

3100

4100

德国EPK膜厚仪MINITEST 存储的数据量

应用行数(根据不同探头或测试条件而记忆的校准基础数据数)

1

1

10

99

每个应用行下的组(BATCH)数(对组内数据自动统计计算，并可设宽容度极限值)

1

10

99

可用各自的日期和时间标识特性的组数

1

500

500

数据总量

1

10000

10000

10000

MINITEST统计计算功能

读数的六种统计值x,s,n,max,min,kvar

√

√

√

读数的八种统计值x,s,n,max,min,kvar,Cp,Cpk

√

√

组统计值六种x,s,n,max,min,kvar

√

√

组统计值八种x,s,n,max,min,kvar,Cp,Cpk

√

√

存储显示每一个应用行下的所有组内数据

√

分组打印以上显示和存储的数据和统计值

√

√

显示并打印测量值、打印的日期和时间

√

√

√

其他功能

设置极限值

√

√

连续测量模式快速测量，通过模拟柱识别大小值

√

√

连续测量模式中测量稳定后显示读数

√

√

连续测量模式中显示小值

√

√

探头

量程

低端
分辨率

误差

小曲率半径
(凸/凹)

小测量
区域直径

小基
体厚度

探头尺寸

磁
感
应
法

F05

0-500μm

0.1μm

±(1%±0.7μm)

1/5mm

3mm

0.2mm

φ15x62mm

F1.6

0-1600μm

0.1μm

±(1%±1μm)

1.5/10mm

5mm

0.5mm

φ15x62mm

F1.6/90

0-1600μm

0.1μm

±(1%±1μm)

平面/6mm

5mm

0.5mm

φ8x8x170mm

F2/90

0-2000μm

0.2μm

±(1%±1μm)

平面/6mm

5mm

0.5mm

φ8x8x170mm

F3

0-3000μm

0.2μm

±(1%±1μm)

1.5/10mm

5mm

0.5mm

φ15x62mm

F10

0-10mm

5μm

±(1%±10μm)

5/16mm

20mm

1mm

φ25x46mm

F20

0-20mm

10μm

±(1%±10μm)

10/30mm

40mm

2mm

φ40x66mm

F50

0-50mm

10μm

±(3%±50μm)

50/200mm

300mm

2mm

φ45x70mm

两
用
 

FN1.6

0-1600μm

0.1μm

±(1%±1μm)

1.5/10mm

5mm

F0.5mm/N50μm

φ15x62mm

FN1.6P

0-1600μm

0.1μm

±(1%±1μm)

平面

30mm

F0.5mm/N50μm

φ21x89mm

FN2

0-2000μm

0.2μm

±(1%±1μm)

1.5/10mm

5mm

F0.5mm/N50μm

φ15x62mm

电
涡
流
法

N02

0-200μm

0.1μm

±(1%±0.5μm)

1/10mm

2mm

50μm

φ16x70mm

N.08Cr

0-80μm

0.1μm

±(1%±1μm)

2.5mm

2mm

100μm

φ15x62mm

N1.6

0-1600μm

0.1μm

±(1%±1μm)

1.5/10mm

2mm

50μm

φ15x62mm

N1.6/90

0-1600μm

0.1μm

±(1%±1μm)

平面/10mm

5mm

50μm

φ13x13x170mm

N2

0-2000μm

0.2μm

±(1%±1μm)

1.5/10mm

5mm

50μm

φ15x62mm

N2/90

0-2000μm

0.2μm

±(1%±1μm)

平面/10mm

5mm

50μm

φ13x13x170mm

N10

0-10mm

10μm

±(1%±25μm)

25/100mm

50mm

50μm

φ60x50mm

N20

0-20mm

10μm

±(1%±50μm)

25/100mm

70mm

50μm

φ65x75mm

N100

0-100mm

100μm

±(1%±0.3mm)

100mm/平面

200mm

50μm

φ126x155mm

CN02

10-200μm

0.2μm

±(1%±1μm)

平面

7mm

无限制

φ17x80mm